| 发明名称 |
Apparatus and method of operating a probe-based instrument in a torsional |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003281338(A8) |
申请公布日期 |
2004.01.23 |
| 申请号 |
AU20030281338 |
申请日期 |
2003.07.02 |
| 申请人 |
VEECO INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
CHANMIN SU;LIN HUANG;KENNETH L. BABCOCK |
| 分类号 |
G01Q10/06;G01Q60/26;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01Q10/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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