发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DICING AND CLEANING SEMI-CONDUCTOR SLICES
摘要
申请公布号 CA858142(A) 申请公布日期 1970.12.08
申请号 CAD858142 申请日期 1969.04.26
申请人 NORTHERN ELECTRIC COMPANY LIMITED 发明人 JACQUES R. ST. LOUIS
分类号 B26F3/00;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B26F3/00
代理机构 代理人
主权项
地址