Optisches Element, Verfahren zu seiner Herstellung und zur Bestimmung seiner optischen Eigenschaften

摘要

Die Erfindung betrifft optische Elemente, Verfahren zur Herstellung solcher optischer Elemente und die Bestimmung der erreichten optischen Eigenschaften. Bei den optischen Elementen handelt es sich insbesondere um solche für die Reflexion, Transmission, Führung und/oder Filterung elektromagnetischer Strahlung im Wellenlängenbereich zwischen 100 und 400 nm. Auf einem Substrat sind dabei mindestens eine Schicht eines metallischen Fluorids ausgebildet. Mit der erfindungsgemäßen Lösung sollen die optischen Eigenschaften verbessert und insbesondere der störende Einfluss von Lumineszenz weitestgehend vermieden werden. DOLLAR A In der einen bzw. auch mehreren Schichten eines optischen Elementes aus metallischen Fluoriden sollen gewährleisten, dass der Anteil mindestens eines in der Schicht zusätzlich enthaltenen Elementes, das innerhalb mindestens eines vorgebbaren Wellenlängenbereiches von elektromagnetischer Strahlung luminesziert, 10 Masse-ppm ist. Bei der Herstellung solcher optischer Elemente werden die eine oder mehrere Schichten aus dem jeweils eingesetzten metallischen Fluorid durch thermische Verdampfung oder Elektronenstrahlverdampfung, ionenunterstützte Abscheidung oder plasmaunterstützte Verdampfung ausgebildet, wobei entsprechende pulverförmige oder granulare metallische Fluoride für die Schichtbildung eingesetzt werden. Im Anschluss an die Schichtausbildung können die so hergestellten optischen Elemente durch Bestrahlung mit elektromagnetischer Strahlung einer ...