发明名称 |
氧化钒薄膜材料的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种溶胶-凝胶制备氧化钒薄膜材料的方法,其特征在于它用乙酰丙酮氧钒替代了五价钒的醇氧盐(VO(Opr)<SUB>3</SUB>),使制备好的溶胶稳定性好,可以长期存放,多次使用。另外此溶胶毒性相对较小,有利于操作人员的健康。用该溶胶可以方便地制备出性质均一、具有高度择优取向性的氧化钒薄膜。 |
申请公布号 |
CN1436606A |
申请公布日期 |
2003.08.20 |
申请号 |
CN03115643.6 |
申请日期 |
2003.03.04 |
申请人 |
中国科学院上海技术物理研究所 |
发明人 |
陆卫;潘梅;陈效双;李志锋;李宁;季亚林;钟红梅 |
分类号 |
B05D1/30;H01L31/0256;H01L31/0392 |
主分类号 |
B05D1/30 |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
郭英 |
主权项 |
1.一种氧化钒薄膜材料的制备方法,包括前驱体溶液的配制,匀胶甩胶,其特征在于该制备方法如下:(1)前驱体溶液的配制:A.在室温下,将分析纯或优级纯乙酰丙酮氧钒溶解在过量甲醇中,如果要制备掺杂的氧化钒薄膜,则同时溶入相应量的所需元素的盐类,并使甲醇适量挥发至钒的摩尔浓度为0.125mol/l;B.用≤0.2μm注射过滤器滤去溶液中的细微不溶颗粒,以防止其对薄膜造成污染,用磁力搅拌器将过滤后的溶液缓慢搅拌24小时,令其充分水解,然后密封放置陈化三天以上,即得到适于匀胶的透明、均匀的前驱体溶胶;(2)薄膜材料的制备:将配制好的前驱体溶胶滴到基片上,用匀胶机甩胶,转速3000-3500转/分钟,时间20-25秒;匀胶后,将前驱体膜与基片一起放在70℃-80℃烘箱中烘烤20-30分钟,以除去多余溶剂;并重复匀胶和烘烤过程多次,直至达到所需的薄膜厚度为止;然后将薄膜与基片一起放在氮气氛炉中,在550℃-650℃的温度下热处理15-30分钟,即得到均一的氧化钒薄膜。 |
地址 |
200083上海市玉田路500号 |