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发明名称 Semiconductor device and method of manufacturing the same
摘要
申请公布号 EP1211728(A3) 申请公布日期 2003.07.02
申请号 EP20010127426 申请日期 2001.11.26
申请人 CANON SALES CO., INC.;SEMICONDUCTOR PROCESS LABORATORY CO., LTD. 发明人 SHIOYA, YOSHIMI;OHIRA, KOUICHI;MAEDA, KAZUO;SUZUKI, TOMOMI;YAMAMOTO, YOUICHI;KOTAKE, YUICHIRO;IKAKURA, HIROSHI;OHGAWARA, SHOJI
分类号 H01L21/28;H01L21/205;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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