发明名称 有机电激发光的图素定义层的显影装置
摘要 一种有机电激发光的图素定义层的显影装置,是用来针对一有机电激发光的图素定义层进行一显影制程,包含一显影单元,用来提供一显影液以使其分布于有机电激发光显示面板表面上,一清洗单元,用来清洗残留的显影液,一吹干单元,用来吹干显示面板,一传送单元,将显示面板依序传送至显影单元、清洗单元以及吹干单元中,一控制单元,用来控制传送顺序与传送时间,精确地控制显示面板于每一个单元中的处理时间;显影装置设置复数个前后连接的显影单元;显影装置可以设置成第一段清洗单元和第二段清洗单元,先利用第一段清洗单元来喷洒一循环溶液,再利用第二段清洗单元来喷洒一新鲜清洗溶液,以完全移除显影液。
申请公布号 CN1419166A 申请公布日期 2003.05.21
申请号 CN01134912.3 申请日期 2001.11.13
申请人 铼宝科技股份有限公司 发明人 卢添荣;张毅
分类号 G03F7/26;G03F7/30;G03F7/32;G03F7/40 主分类号 G03F7/26
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1.一种有机电激发光的图素定义层的显影装置,是用来对一有机电激发光的图素定义层进行一显影制程;其特征在于,该显影装置包含有:一显影单元,是提供一显影液,以便该显影液均匀分布在一有机电激发光显示面板的表面上;一清洗单元,是与该显影单元相连接,以喷洒一清洗溶液,以移除该有机电激发光显示面板表面上所残留的显影液;一吹干单元,是与该清洗单元相连接,以吹干该有机电激发光显示面板表面上所残留的清洗溶液;一传送单元,是分别与该显影单元、该清洗单元以及该吹干单元相连接,以传送该有机电激发光显示面板至每一单元中;以及一控制单元,是控制该传送单元的传送顺序与传送时间,以精确地控制该有机电激发光显示面板于每一个单元中的处理时间;其中该传送单元是以连续传送的方式,将该有机电激发光显示面板依序传送至该显影单元、该清洗单元以及该吹干单元中,以完成该显影制程,因此该显影装置可以精确地控制该预定的显影时间,并有效缩短该显影制程的时程,与减少人力操作成本。
地址 台湾省新竹县