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Es werden Eingangsparameter (F; D) und diesen zugehörige technisch mögliche Parameterwerte (Fi; Dj) ausgewählt, aus denen Stützpunktwerte (B) und diesen zugeordnete Ergebniswerte (CDk) für die geometrischen Eigenschaften (CD) gewonnen werden. An jedem Stützpunktwert (B) wird der jeweilige Ergebniswert (CDk) dem dem jeweiligen Stützpunktwert (B) zugeordneten Parameterwert (Fi; Dj) zugeordnet. An die Ergebniswerte (CDk) wird im Gesamtbereich der zugeordneten Parameterwerte (Fi; Dj) ein "Response Surface" (RS) angepasst, woraus sich Response-Werte (RV) ergeben, für die in Teilbereichen (URS) ein Minimalwert (RVmin) und ein Maximalwert (RVmax) ermittelt werden. Aus dem insgesamt größten (RVmaxmax) und dem insgesamt kleinsten (RVminmin) Response-Wert (RV) wird ein Gesamtintervall (IVges) gebildet, das in eine gegebene Anzahl von Teil-Intervallen (IVT) eingeteilt wird. Für jedes der Teil-Intervalle (IVT) werden die einzelnen Wahrscheinlichkeiten aufaddiert, was einen Gesamtwahrscheinlichkeitswert für ein jeweiliges Teil-Intervall (IVT) über alle Werte-Intervalle (IV) hinweg liefert.
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