Verfahren zur Herstellung von Schichtdielektrika

摘要

Ein Schichtkörper, der aus dielektrischen Oxidschichten und aus als Hauptbestandteil ein unedles Metall wie Cu enthaltenden Innenelektrodenschichten besteht, wird in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert, indem ein Mischgas verwendet wird, dessen Hauptbestandteil ein CO¶2¶-Gas ist und das eine optionale Menge CO-Gas und O¶2¶-Gas enthält. Indem von dem Gleichgewichtssystem CO¶2¶ Û 2CO + (1/2)O¶2¶ Verwendung gemacht wird und die Mengen an CO-Gas und O¶2¶-Gas eingestellt werden, kann der Sauerstoffpartialdruck in dem Atmosphärengas leicht und stabil eingestellt werden, sodass Schwankungen und Änderungen der Atmosphäre unterdrückt werden. Mit diesem Herstellungsverfahren lässt sich ein großes Schichtdielektrikum hoher Qualität herstellen, wobei die Atmosphäre während des Sintervorgangs leicht eingestellt werden kann und Probleme wie eine Ausdehnung aufgrund einer Reaktion mit dem Atmosphärengas behoben werden können.