发明名称 Verfahren zum Feststellen des Endpunkts eines Dampfphasen-Ätzvorgangs
摘要
申请公布号 DE19632846(C2) 申请公布日期 2003.04.17
申请号 DE19961032846 申请日期 1996.08.14
申请人 LG SEMICON CO., LTD. 发明人 HUH, YUN JUN
分类号 H01L21/302;C23F1/00;H01J37/32;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/12 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址