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发明名称
摘要
申请公布号	JP2003514389(A)	申请公布日期	2003.04.15
申请号	JP20010537771	申请日期	2000.11.14
申请人		发明人
分类号	H05H1/46;C23C16/507;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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