| 发明名称 |
Ätzvorrichtung und damit durchgeführtes Verfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4331914(C2) |
申请公布日期 |
2003.04.03 |
| 申请号 |
DE19934331914 |
申请日期 |
1993.09.20 |
| 申请人 |
NISSAN MOTOR CO., LTD. |
发明人 |
IWASAKI, YASUKAZU;UCHIYAMA, MAKOTO |
| 分类号 |
C23F1/00;(IPC1-7):C23F1/08;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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