| 发明名称 |
Verfahren und Lösung zum Ätzen von Al-Cu Schichten zur Herstellung von elektronischen Schaltungen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69808722(D1) |
申请公布日期 |
2002.11.21 |
| 申请号 |
DE19986008722 |
申请日期 |
1998.12.18 |
| 申请人 |
FORD MOTOR CO., DEARBORN |
发明人 |
PARUCHURI, MOHAN R.;ACHARI, ACHYUTA |
| 分类号 |
C23F1/36;H05K3/06;H05K3/20;H05K3/38;H05K3/46;(IPC1-7):C23F1/36 |
主分类号 |
C23F1/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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