发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Zerstaeuben
摘要
申请公布号 DE1765287(A1) 申请公布日期 1972.04.06
申请号 DE19681765287 申请日期 1968.04.27
申请人 LITTON INDUSTRIES INC. 发明人 K. WEHNER,GOTTFRIED;S. ANDERSON,GERALD
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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