| 摘要 |
본 발명은 도금액의 사용량을 적게 할 수 있어, 안정된 도금공정을 유지할 수 있고, 장치의 소형화와 저가격화가 도모되고, 막 두께의 면내 균일성이 도모되며, 나아가서는 승온에 의한 도금액의 열화를 방지할 수 있는 무전해도금장치이다. 본 발명은 피도금면을 상향으로 하여 기판을 유지하는 유지장치(11)와, 유지장치(11)에 유지된 기판(W)의 피도금면의 주위를 시일하는 도금액유지기구(31)와, 도금액유지기구(31)로 시일된 기판의 피도금면에 무전해도금처리액을 공급하여 모으는 무전해도금처리액 공급장치(41)와, 기판의 아래쪽에 설치되는 가열장치(15)를 구비하고 있다. |
