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发明名称 Mirror with crystal substrate for EUV
摘要
申请公布号 EP1095379(B1) 申请公布日期 2002.09.11
申请号 EP19990931093 申请日期 1999.06.17
申请人 CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG 发明人 KAISER, WINFRIED
分类号 G02B5/08;G21K1/06;(IPC1-7):G21K1/06 主分类号 G02B5/08
代理机构 代理人
主权项
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