固态摄像装置及其制造方法

摘要

在形成CCD的基片上的保护膜上面形成有透明填塞层和透明平坦膜层，使该保护膜表面平坦。在透明平坦膜层上面形成红、蓝、黄色的彩色滤光片。该彩色滤光片由合成感光性材料形成。由此可高精度地形成形状良好的彩色滤光片，又在分光特性上，可实现所有的彩色滤光片均匀。由此可得到优异特性的图像，而无因闪光性能、遮蔽性能及粉尘等不良情况引起的图像不良。

主权项

1.一种固态摄像装置，其特征在于，所述的固态摄像装置包括：在至少形成有光敏部的半导体基片上所形成的透明平坦膜层，及形成于上述光敏部及透明平坦膜层上面、由使用水作溶剂的合成感光性材料所形成的彩色滤光片。