发明名称 抗眩型聚亚醯胺图素定义层之制造方法及应用
摘要 一种有机电激发光显示面板之抗眩(anti-glare)型聚亚醯胺图素定义层之制造方法,其中该有机电光显示面板包含复数个发光图素区域;包括以下步骤:先于基板上形成一对应于发光区域之第一电极;再于第一电极之基板上涂布一非感光性抗眩聚亚醯胺(polyimide)组成物,其中该抗眩聚亚醯胺组成物包含(1)聚亚醯胺前驱体(polyimide precursor)及(2)吸光染料或颜料;之后对涂布一抗眩聚亚醯胺前驱体层之基板进行第一次预烤(prebake);然后于抗眩聚亚醯胺前驱体层上涂布一光阻层;对涂布光阻层及非感光性抗眩聚亚醯胺前驱体层之基板进行第二次预烤(prebake);使用光罩进行曝光;对光阻显影以形成具图样(pattern)之光阻层并同时对抗眩聚亚醯胺前驱体层进行蚀刻以形成具图样(pattern)之抗眩聚亚醯胺前驱体层,其中该抗眩聚亚醯胺前驱体层之图样系将第一电极分隔成具有复数个不为图素定义层覆盖之开口区域;最后剥离光阻层;以及加热烘烤包含非感光性抗眩聚亚醯胺前驱体层之基板以交联硬化聚亚醯胺,以形成于第一电极上具有复数个不为图素定义层覆盖之画素开口区域的抗眩型聚亚醯胺图素定义层。
申请公布号 TW499622 申请公布日期 2002.08.21
申请号 TW089107926 申请日期 2000.04.26
申请人 铼宝科技股份有限公司 发明人 卢添荣
分类号 G03F7/00;G03C1/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人 吴冠赐 台北巿信义路四段四一五号十三楼之三;苏建太 台北巿信义路四段四一五号十三楼之三;杨庆隆 台北市信义路四段四一五号十三楼之三
主权项 1.一种有机电激发光显示面板之抗眩型聚亚醯胺 图素定义层之制造方法,其中该有机电光显示面板 包含复数个发光图素区域;包括: 于基板上形成一对应于发光区域之第一电极; 于第一电极之基板上涂布一非感光性抗眩聚亚醯 胺(polyimide)组成物,其中该抗眩型聚亚醯胺组成物 包含(1)聚亚醯胺前驱体(polyimide precursor)及(2)吸光 染料或颜料; 对涂布一抗眩聚亚醯胺前驱体层之基板进行第一 次预烤(prebake); 于抗眩聚亚醯胺前驱体层上涂布一光阻层; 对涂布光阻层及非感光性抗眩聚亚醯胺前驱体层 之基板进行第二次预烤(prebake); 使用光罩进行曝光及对光阻显影以形成具图样( pattern)之光阻层; 同时,对光阻显影并对抗眩聚亚醯胺前驱体层进行 蚀刻,以形成具图样(pattern)之抗眩聚亚醯胺前驱体 层,其中该抗眩聚亚醯胺前驱体层之图样系将第一 电极分隔成具有复数个不为图素定义层覆盖之画 素开口区域; 剥离光阻层;以及 加热烘烤包含非感光性抗眩型聚亚醯胺前驱体层 之基板,以交联硬化聚亚醯胺于形成抗眩型聚亚醯 胺图素定义层,且该抗眩型聚亚醯胺图素定义层于 第一电极上有复数个不为聚亚醯胺图素定义层覆 盖之画素开口区域。2.如申请专利范围第1项所述 之方法,其中更包含于抗眩型聚亚醯胺(polyimide)图 素定义层上形成一具有T形状顶部之条状光阻层。 3.如申请专利范围第1项所述之方法,其中包含加热 烘烤非感光性抗眩型聚亚醯胺前驱体层之基板系 加热烘烤至少至温度200℃以上。4.如申请专利范 围第1项所述之方法,其中该聚亚醯胺图素定义层 为复数平行长条并与第一电极形成垂直交错。5. 如申请专利范围第2项所述之方法,其中该条状光 阻层与第一电极形成垂直交错。6.如申请专利范 围第1项所述之方法,其中该光阻为正型光阻。7.如 申请专利范围第1项所述之方法,其中更包括于含 第一电极之基板上形成一条状光阻层,该光阻层系 突出于含第一电极之基板,且该条状光阻层之顶端 系与基板之平面平行。8.如申请专利范围第1项所 述之方法,其中更包括于条状光阻层间之暴露区域 之第一电极上沈积有机发光介质,以于第一电极上 形成复数个包含有机发光介质之第一电极区域;以 及于有机发光介质层上形成第二电极。9.如申请 专利范围第1项所述之方法,其中该第一电极与该 第二电极互相垂直。10.如申请专利范围第1项所述 之方法,其中该第一电极为透明。11.如申请专利范 围第1项所述之方法,其中该基板为透明。12.如申 请专利范围第1项所述之方法,其中于基板上形成 一对应于发光区域之第一电极前先形成辅助电极 层。13.一种有机电激发光显示元件,包括一基板, 复数个第一电极,复数个第二电极,抗眩型聚亚醯 胺图素定义层及复数个条状光阻层,及复数个有机 发光材料层; 其中抗眩型聚亚醯胺图素定义层由抗眩型聚亚醯 胺组成物所形成,该抗眩型聚亚醯胺组成物包含(1) 聚亚醯胺前驱体(polyimide precursor)及(2)吸光染料或 颜料; 且该复数个第一电极平行排列于基板上;该抗眩型 聚亚醯胺图素定义层位于包括第一电极之基板上; 该条状光阻层位于抗眩型聚亚醯胺图素定义层上 且该抗眩聚亚醯胺前驱体层之图样系将第一电极 分隔成具有复数个不为图素定义层覆盖之画素开 口区域;该光阻层系突出于含第一电极之基板,且 该条状光阻层之顶端系与基板之平面平行;有机发 光介质层沈积于第一电极上;第二电极沈积于有机 发光介质层上;且该条状光阻层系由包含光阻组成 物经光罩曝光、显影所形成。14.如申请专利范围 第13项所述之有机电光元件,其中聚亚醯胺(polyimide )图素定义层上系形成一具有T形状顶部之条状光 阻层。15.如申请专利范围第13项所述之有机电光 元件,其中该聚亚醯胺图素定义层为复数平行长条 并与第一电极形成垂直交错。16.如申请专利范围 第15项所述之有机电光元件,其中该条状光阻层与 第一电极形成垂直交错。17.如申请专利范围第13 项所述之有机电光元件,其中该光阻为正型光阻。 18.如申请专利范围第13项所述之有机电光元件,其 中该第一电极与该第二电极互相垂直。19.如申请 专利范围第13项所述之有机电光元件,其中该第一 电极为透明。20.如申请专利范围第13项所述之有 机电光元件,其中该基板为透明。21.如申请专利范 围第13项所述之有机电光元件,其中更包括复数个 辅助电极。图式简单说明: 第1图系本发明未蒸镀有机发光层与阴极材料前之 显示面板立体图。 第2图系抗眩型聚亚醯胺与其所定义出第一电极的 画素开口光学显微镜照片。
地址 新竹县竹北市仁义路六十五号