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发明名称 TRANSFER UNIT
摘要
申请公布号 JP2002217269(A) 申请公布日期 2002.08.02
申请号 JP20010013913 申请日期 2001.01.23
申请人 HITACHI KIDEN KOGYO LTD 发明人 FUKUWATARI ICHIRO
分类号 B25J9/06;B25J19/00;B65G49/00;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
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