发明名称 Beschleunigungssensor und Verfahren zum Herstellen desselben
摘要 Ein Beschleunigungssensor umfaßt ein piezoelektrisches Element und Tragerahmen zum Tragen der Enden des piezoelektrischen Elements in der Längsrichtung. Das piezoelektrische Element wird durch Stapeln einer geraden Anzahl von piezoelektrischen Schichten, die größer als oder gleich vier Schichten ist, gebildet. Zwischen den Schichten und auf der Vorder- und der Rückfläche des piezoelektrischen Elements sind Elektroden vorgesehen. Die Zwischenschichtelektroden, die eine segmentierte Elektrode und Führungselektroden umfassen, sind abwechselnd gestapelt, wobei sich die piezoelektrischen Schichten zwischen denselben befinden. Die Zwischenschichtelektrode in der Mitte in der Dickenrichtung ist eine segmentierte Elektrode. Die piezoelektrischen Schichten sind in der Dickenrichtung polarisiert, so daß eine Ladung, die dieselbe Polarität aufweist, aus den Elektroden extrahiert wird, wenn die Beschleunigung angelegt wird. Ferner sind der Mittelabschnitt und die beiden Endabschnitte jeder piezoelektrischen Schicht in entgegengesetzten Richtungen polarisiert.
申请公布号 DE10200870(A1) 申请公布日期 2002.08.01
申请号 DE2002100870 申请日期 2002.01.11
申请人 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 OGIURA, MITSUGU
分类号 G01P15/09;H01L41/08;H01L41/22;H01L41/257;H01L41/293;H01L41/297 主分类号 G01P15/09
代理机构 代理人
主权项
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