发明名称 Method of forming a temporary connection to a semiconductor integrated circuit
摘要
申请公布号 EP0670596(B1) 申请公布日期 2002.06.26
申请号 EP19950301326 申请日期 1995.03.01
申请人 SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO. LTD. 发明人 MURAMATSU, SHIGETSUGU
分类号 H01L21/60;G01R31/28;H01L21/56;H01L23/28;H01L23/31;H01L23/498;(IPC1-7):H01L23/498 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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