导流式双孔真空阀

摘要

一种真空阀,具有并列连接腔孔与泵孔的主流道及副流道、打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体,和打开关闭副流道中的副阀座的副阀体,在所述主阀体上,除了提升式地打开关闭主阀座的阀密封部件外,还设置了嵌装在主阀座内孔中的且逐渐变尖细的流量调节部,在打开所述副阀体之后打开主阀体时,使该流量调节部发挥使排气流量逐渐增大的功能。

主权项

1.一种导流式双孔真空阀，其特征在于，它具有：用于与真空腔相连的腔孔及用于与真空泵相连的泵孔；具有这些孔的阀壳；并列连接所述腔孔与泵孔的截面面积大的主流道及截面面积比该主流道小的副流道；打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体及打开关闭所述副流道中的副阀座的副阀体；通过第一阀杆与该主阀体相连的第一活塞及通过第二阀杆与该副阀体相连的第二活塞；使开阀方向上的气压作用在第一活塞上的主压力作用室及使开阀方向上的气压作用在第二阀杆上的副压力作用室；在关阀方向上对所述主阀体施加弹力的第一弹簧件及在关阀方向上对所述副阀体施加弹力的第二弹簧件，所述主阀体具有通过接触和离开所述主阀座而提升地打开关闭该主阀座的阀密封部件，和嵌在该主阀座的内孔中并通过打开关闭该阀密封部件而在该内孔中变移的柱形流量调节部，所述流量调节部具有这样的功能，即它通过逐渐变尖细的结构而在所述阀密封部件打开时使流动于主流道中的空气流量逐渐增大。