| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM PLANARISIEREN VON HALBLEITERSUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ATA165897(A) |
申请公布日期 |
2002.05.15 |
| 申请号 |
AT19970001658 |
申请日期 |
1997.09.30 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG |
发明人 |
KRUWINUS HANS-JUERGEN DIPL.ING.;SELLMER REINHARD |
| 分类号 |
C23F1/14;C23F1/18;C23F1/20;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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