| 发明名称 |
OBJECT INSPECTION AND/OR MODIFICATION SYSTEM AND METHOD |
| 摘要 |
A scanning probe microscope system ( 100 ) includes an objective lens ( 147 ), a clamping circuit ( 404 ), a tip deflection measurement circuit ( 421 ), a cantilever ( 136 ), and a probe ( 137 ) for modifying and inspecting an object ( 102 ) disposed on a stage ( 129 ). |
| 申请公布号 |
EP1196939(A1) |
申请公布日期 |
2002.04.17 |
| 申请号 |
EP20000946927 |
申请日期 |
2000.06.30 |
| 申请人 |
GENERAL NANOTECHNOLOGY, LLC |
发明人 |
KLEY, VICTOR, B. |
| 分类号 |
B82B3/00;G01N23/00;G01Q20/02;G01Q70/02;G01Q80/00;G21K7/00;H01J37/26;H01L21/00;(IPC1-7):H01J37/26 |
主分类号 |
B82B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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