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发明名称 WÄSSERIGE ANTIREFLEXBESCHICHTUNG FÜR PHOTORESISTZUSAMMNESETZUNGEN
摘要
申请公布号 DE69709874(D1) 申请公布日期 2002.02.28
申请号 DE1997609874 申请日期 1997.08.15
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 DURHAM, L.;MCCULLOCH, IAIN;DAMMEL, R.;LU, PING-HUNG;KANG, MING;KHANNA, N.;DING, SHUJI
分类号 G03F7/11;C08F8/00;C08F8/30;C08F20/60;C08F220/54;C08L33/26;C09D133/24;C09D133/26;G03F7/09;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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