| 发明名称 |
A method of chemically mechanically polishing an electronic component |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0773580(B1) |
申请公布日期 |
2002.01.16 |
| 申请号 |
EP19960307618 |
申请日期 |
1996.10.21 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
JASO, MARK ANTHONY |
| 分类号 |
H01L21/768;C23F1/14;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/310 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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