| 主权项 |
1.一种低温泵,其特征在于其包含: 外壳; 板体,其系设于前述外壳内,将气体分子凝结吸附 者; 循环机构,其系将循环用气体导入前述外壳内,将 被吸附于前述板体之气体分子予以气化,再与该循 环用气体一起排出至前述外壳外部者;及 气体供给机构.其系将循环用气体供给至前述外壳 之外表面之特定部分者。2.如申请专利范围第1项 所述之低温泵,其中前述气体供给机构系将由前述 循环机构自前述外壳排出之循环用气体吹附至前 述外壳之外表面之特定部分者。3.如申请专利范 围第1项所述之低温泵,其中前述气体供给机构包 含: 罩,其系围住前述外壳者;及 供给机构,其系将由前述循环机构自前述外壳所排 出之循环用气体供给至前述罩与前述外壳之间之 空间者。4.如申请专利范围第1项所述之低温泵,其 中前述气体供给机构包含: 罩,其系围住前述外壳者;及 气体导入埠,其系为了将循环用气体导入前述罩与 前外壳之间之空间,而设于前述罩者;由前述气体 导入埠导入前述罩与前述外壳之间之空间之循环 用气体,被导入至前述外壳内。5.如申请专利范围 第1项所述之低温泵,其中包含加热机构,其系在由 前述气体供给机构将循环用气体供给至前述外壳 之外表面之特定部分前,将前述循环用气体予以加 热者。6.一种低温泵之循环方法,其特征在于:其系 将具有外壳及设于前述外壳内将气体分子予以凝 结吸附之板体之低温泵予以循环之方法;其包含下 列步骤: 第1步骤,即将循环用气体导入前述外壳内,将被吸 附于前述板体上之气体分子予以气化与该循环用 气体共同排出于前述外壳之外部者;及 第2步骤,即在前述第1步骤之实施中将循环用气体 供给至前述外壳之外表面之特定部分者。7.如申 请专利范围第6项所述之低温泵之循环方法,其中 在前述第2步骤中供给至前述外壳之表面之特定部 分之循环用气体,系为所述第1步骤中被自前述外 壳所排出之循环用气体。8.如申请专利范围第6项 所述之低温泵之循环方法,其中更包含将循环气体 予以加热之步骤。图式简单说明: 第一图:习知之一般的低温泵之概略图。 第二图:本发明之低温泵之较佳实施形态之概略图 。 第三图:本发明之低温泵之其他实施形态之概略图 。 第四图:本发明之低温泵之另一其他实施形态之概 略图。 |
