发明名称 Cascaded planar exposure chamber
摘要
申请公布号 AU6470401(A) 申请公布日期 2001.12.03
申请号 AU20010064704 申请日期 2001.05.21
申请人 INDUSTRIAL MICROWAVE SYSTEMS, INC. 发明人 J. MICHAEL DROZD
分类号 H05B6/70;H05B6/74;H05B6/78 主分类号 H05B6/70
代理机构 代理人
主权项
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