Cathode material of electron beam device and preparation method thereof

摘要

본 발명은 전자빔 장치의 음극 물질을 제공한다. 상기 음극 물질은 세륨그룹의 희토류 금속 0.5 내지 9.0중량, 텅스텐 및/또는 레늄 0.5 내지 15.0중량, 하프늄 0.5 내지 10중량및 나머지량의 이리듐을 포함하는 합금인 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 음극 물질은 가소성이 우수하여 작은 크기의 에미터를 제조하기 용이할 뿐만 아니라 전자방출능력이 크며, 작동온도가 낮아 장수명을 가지므로 전자빔 장치의 음극 물질로 유용하다.