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发明名称 ULTRAVIOLET LASER APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS COMPRISING THE ULTRAVIOLET LASER APPARATUS
摘要
申请公布号 IL138374(D0) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 IL19980138374 申请日期 1998.11.30
申请人 NIKON CORPORATION 发明人
分类号 G02F1/35;G02F1/37;G03F7/20;H01S3/067;H01S3/23;(IPC1-7):H01S 主分类号 G02F1/35
代理机构 代理人
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