发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ANPASSUNG EINER VERÄNDERLICHEN LASTIMPEDANZ AN EINE RF- STROMGENERATORIMPEDANZ
摘要
申请公布号 AT206568(T) 申请公布日期 2001.10.15
申请号 AT19970931168T 申请日期 1997.06.11
申请人 ADVANCED ENERGY VOORHEES INC. 发明人 MAVRETIC, ANTON;CISZEK, ANDREW;STACH, JOSEPH
分类号 H03H7/40;(IPC1-7):H03H7/40 主分类号 H03H7/40
代理机构 代理人
主权项
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