| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere Beschleunigungssensor, mit einer Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) zum federnden Lagern einer Masse (3) über einem Substrat (4), wobei die Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) einerseits mit der Masse (3) verbunden ist und andererseits im Substrat (4) verankert ist. Die Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) weist mindestens ein Biegefederelement (F2, F3) auf, dessen Beweglichkeit gegenüber dem Substrat (4) zur Veränderung der effektiven Federkonstante der Biegefedereinrichtung (F1, F2, F3) veränderbar ist.</p> |
