| 摘要 |
<p>면타입 에미터를 채용하면서 각 전극들을 보다 정밀하게 패턴화할 수 있는 3극관형 전계 방출 표시소자의 제조방법을 제공한다. 이는, 제 1기판의 일면에 애노드 전극과 형광막을 형성하고, 제 2기판의 일면에 절연층을 사이에 두고 수직으로 교차하도록 스트라이프 패턴의 캐소드 전극과 게이트 전극을 형성하며, 캐소드 전극과 게이트 전극의 교차 영역에 해당하는 게이트 전극과 절연층의 일부를 제거하고, 노출된 캐소드 전극 위로 전기영동법을 이용하여 에미터를 형성하며, 제 1기판과 제 2기판을 일체로 밀봉시키는 과정으로 이루어진다. 여기서, 게이트 전극과 절연층의 제거는 교차 영역에서 홀을 형성하도록 포토 레지스트 필름을 패턴화하고, 샌드 블러스트 공법을 이용하여 포토 레지스트 필름의 홀에 의해 노출된 게이트 전극 및 이 게이트 전극 밑의 절연층을 제거하는 과정으로 이루어지며, 에미터의 형성은 에미터 형성물질과 대전제(charging agent)를 용매에 분산시켜 전기영동 용액을 제조하고, 캐소드 전극이 형성된 제 2기판을 전기영동 용액 속에 담근 다음, 캐소드 전극에 전압을 인가하여 에미터 형성물질을 부착시키는 과정으로 이루어진다.</p> |
