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1.光弹调制式椭圆偏光仪中元件之偏光角量测方 法由以下四部份所组成: 一偏光光源,由一光源及一可旋转之偏光片组成, 用以提供量测所需的偏极光,及 一可旋转的待测物装置架用以提供量测所需的入 射角,及 一侦测系统,由一可旋转式析光片,一光侦测器,一 信号控制元件,锁相放大器,及电脑等所组成的侦 测系统,用以分解直流及交流信号,量测,及 一光弹调制器及其控制器; 其特征在于:将入射偏光片调至45度之偏光角,将光 弹调制器的光轴放置于0度并将其相位调至2.42,经 信号控制器将直流电压Vdc信号送入锁相放大器,利 用侦测器分别量测析光片的偏光角在A,A+60及A+120 度的亮度,藉由三个亮度换算元件,偏光片,光弹调 制器之光轴及析光片的偏光角与反射面的夹角 并同时换算待测物的椭圆偏极参数。2.依据请 求专利部份第1项的光弹调制式椭圆偏光仪中元件 之偏光角量测方法,其中,前述三亮度分别量取析 光片的偏光角于A,A+60及A+120,且亮度分布可表示为 其中三元件与反射面的夹角可由三亮度推算。3 .依据请求专利部份第1项的光弹调制式椭圆偏光 仪中元件之偏光角量测方法,其中,前述三亮度及 申请专利范围第2项所述夹角的补助反算待测物的 椭圆偏极参数。图式简单说明: 第一图系绘示本发明的光弹调制式椭圆偏光仪的 架构图 |
