检查结果输出装置及基板检查系统

摘要

一种基板检查系统,由光投射部将光照射在被检查基板上,由摄象部对其反射光图像进行摄象,并根据所得到的彩色图象信号对基板上的器件安装部位进行检查,根据其检查结果生成以与不合格内容对应的形状不同的不合格部位识别标记指示出不合格部位的器件安装部位布置图,并将该布置图输出;其特征在于,备有布置图生成装置,生成显示上述布置图的指定区域的放大图、并显示出该放大图所示区域的位置的上述布置图。

主权项

1．一种检查结果输出装置，根据由基板检查装置得到的基板的器件安装部位的检查结果生成以不合格部位识别标记指示出不合格部位位置的器件安装部位布置图，并将该布置图输出，该检查结果输出装置的特征在于：备有布置图生成装置，用于生成显示上述布置图的指定区域的放大图、同时显示出该放大图所示区域的位置的上述布置图。