| 摘要 |
<p>본 발명은 반도체 노광장비의 시그널 점검장치에 관한 것으로, 종래에는 마스크와 웨이퍼의 시그널 점검시 장비 전체를 오프시킨 다음에 해당 피시비를 제거한 다음에 연장보드를 삽입하여 오실로스코프를 수동으로 연결시켜 점검하여야 하므로 시그널 점검작업이 번거롭고 장비의 정지시간이 길어 생산성이 저하되는 문제점이 있었던 바, 본 발명에서는 노광장비 본체의 일측에 오실로스코프를 고정 장착시키고, 그 오실로스코프를 상기 노광장비 본체의 일측에 내장되어 있는 시그널 점검용 보드의 시그널 핀에 연결시켜 마스크와 웨이퍼의 얼라인 상태를 점검하도록 구성함으로써, 장비 전체를 정지시키지 않고도 각 웨이퍼 마다 시그널을 확인할 수 있게 되어 노광불량을 미연에 방지할 수 있을 뿐만 아니라 생산성도 향상된다.</p> |
