| 发明名称 |
Cleaning of implements used in semiconductor manufacture |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2351436(A) |
申请公布日期 |
2001.01.03 |
| 申请号 |
GB20000012086 |
申请日期 |
2000.05.18 |
| 申请人 |
* KOJAIR TECH OY |
发明人 |
KARI * LANG;PERTTI * MAENTYLA |
| 分类号 |
B08B3/02;B08B3/08;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/02;B08B3/04 |
主分类号 |
B08B3/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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