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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Tiefenprofilanalyse von oberflächennahen, dünnen Schichten in Siliciumscheiben
摘要
申请公布号 DE19755967(C2) 申请公布日期 2000.12.28
申请号 DE19971055967 申请日期 1997.12.16
申请人 GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER SPEKTROCHEMIE UND ANGEWANDTEN SPEKTROSKOPIE E.V. 发明人 KLOCKENKAEMPER, REINHOLD;BOHLEN, ALEX VON
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/223 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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