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发明名称 APPARATUS FOR DETECTING AND GUIDING OF SUBSTRATE POSITION
摘要
申请公布号 KR100273810(B1) 申请公布日期 2000.12.15
申请号 KR19950002816 申请日期 1995.02.15
申请人 TEL ENGINEERING LIMITE;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 HIROK,I TSUDOMU;ABE, SHOICHI;AKIYAMA, GIYOTAKA;SATOYOSHI, TSUTOMU
分类号 B65G1/00;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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