一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法

摘要

一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法,主要特点是采用掺杂的方法改变分支处的折射率,并采用先掺杂后键合和双面光刻工艺,在玻璃衬底上制作大角度Y分支硅光功率分配器,本方法的优点体现为背面掺杂正面刻蚀,因而掺杂深度适当减小,就可满足大截面脊形波导的要求;玻璃衬底对光的限制效果好。

主权项

1、一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法，其特征在于它采用硅作波导层，玻璃作限制层，背面掺杂正面刻蚀技术，先掺杂后健合和双面光刻工艺而制作。