发明名称 Laite ohutkalvojen valmistamiseksi
摘要
申请公布号 FI991078(A) 申请公布日期 2000.11.11
申请号 FI19990001078 申请日期 1999.05.10
申请人 ASM MICROCHEMISTRY OY, 发明人 BONDESTAM,NIKLAS;KESAELAE,JANNE;KETO,LEIF;SOININEN,PEKKA T.
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/08;C30B25/12;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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