发明名称 SURFACE ANALYSIS USING GAUSSIAN BEAM PROFILES
摘要
申请公布号 EP1007944(A4) 申请公布日期 2000.07.12
申请号 EP19980920975 申请日期 1998.05.06
申请人 HOLCOMB, MATTHEW J. 发明人 HOLCOMB, MATTHEW J.
分类号 G01N21/956;G01B9/02;G01B11/30;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/00;G01N21/88;G01N21/47 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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