微型喷射装置

摘要

本发明涉及一种微型喷射装置,其中,在保护层和加热腔室隔挡层之间形成有粘附促进层。所述粘附促进层是利用γ－氨丙基三乙氧基硅烷形成的。所述粘附促进层能够提高保护层和加热腔室隔挡层之间的粘附,从而提高所述微型喷射装置的总体喷射效果。

主权项

1.一种微型喷射装置，包括：由硅制成的基体；设置在所述基体上的由二氧化硅制成的保护层；设置在所述保护膜上的粘附促进层，用于提高所述保护层与加热腔室隔挡层之间的粘附；设置在所述粘附促进层的一部分上的加热电阻层，所述加热电阻层用于对加热腔室进行加热；设置在所述粘附促进层的一部分上并与所述加热层相接触的电极层，用于从外部电源向所述加热电阻层供电；设置在所述粘附促进层上的加热腔室隔挡层，所述加热腔室隔挡层限定了围绕加热电阻的加热腔室；覆盖在所述加热腔室隔挡层上的隔膜层，用于传递所述加热腔室中的工作液体因受热而产生的体积变化；设置在所述隔膜上的液体腔室隔挡层，所述液体腔室隔挡层限定了与所述加热腔室同轴的液体腔室；和设置在所述液体腔室隔挡层上的喷嘴板，所述喷嘴板具有与所述液体腔室对准的喷嘴。