| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND METHOD FOR SUBSTRATE FROM THE SUBSTRATE PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100252075(B1) |
申请公布日期 |
2000.04.15 |
| 申请号 |
KR19960005464 |
申请日期 |
1996.03.02 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN SEIJO K.K. |
发明人 |
MATSUMURA, YOSHIO |
| 分类号 |
B29D99/00;B24B37/04;B24B41/00;B25B11/00;H01L21/683;H05K1/00;H05K3/00;H05K3/06;H05K13/04;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B29D99/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
