发明名称 A FEEDER OF MASK IN EXPOSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR200174670(Y1) 申请公布日期 2000.03.02
申请号 KR19970017725U 申请日期 1997.07.04
申请人 SAMSUNG TECHWIN CO.,LTD. 发明人 GEE, WEON-HO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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