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发明名称 HEAT TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100238851(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19920003785 申请日期 1992.03.07
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 YAMAMOTO, AKIHITO;YASUHISA, NORIYOSHI;MASHIMO, NORIYOSHI;ABE, MASAHARU;WATANABE, SHINGO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C30B25/08;F27B17/00;F27D7/02;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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