| 发明名称 |
Kapazitiver Absolutdrucksensor und Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl solcher Sensoren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69418740(T2) |
申请公布日期 |
1999.12.23 |
| 申请号 |
DE19946018740T |
申请日期 |
1994.02.03 |
| 申请人 |
CSEM CENTRE SUISSE D`ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE S.A. - RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT, NEUCHATEL |
发明人 |
RENAUD, PHILIPPE |
| 分类号 |
G01L7/00;G01L9/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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