石英保温筒座

摘要

本创作系有关于一种「石英保温筒座」之新式样设计。本新式样所针对之物品，由附图显示其使用状态之参考图可知，是一种于扩散处理装置中，尤其是于纵形热处理装置中，用以固持石英承载皿，并装上石英翼片，而将石英承载皿底部加以保温之石英保温筒座。上述之纵形热处理装置是用以对被处理物之半导体晶圆供应反应气体而藉扩散在晶圆表面形成期望之薄膜者。上述说明仅供辅助了解本创作而非用以限制其内容;理应明了，新式样系就其整体形状、花纹、或色彩指定之，且系以申请专利范围所界定者为准。

主权项

一种如图所示「石英保温筒座」之形状者。图式 简单说明 :第一图所示系本创作之立体图;第二图所示系本 创作之 前视图(后视图与之对称);第三图所示系本创作之 俯视图 ;第四图所示系本创作之仰视图;第五图所示系本 创作之 右侧视图(左侧视图与之对称);第六图所示系本创 作之A- A线之截面图;以及第七图所示系本创作之使用状 态参考 图。