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发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR DETERMINING THREE-DIMENSIONAL STRUCTURES IN THE SUBMICRON RANGE
摘要
申请公布号 EP0815411(B1) 申请公布日期 1999.12.08
申请号 EP19960903862 申请日期 1996.03.06
申请人 WEBER, HEINZ PAUL, PROF. DR. 发明人 WEBER, HEINZ, PAUL;HODEL, WALTER;ROMANO, VALERIO
分类号 G01B9/04;G01B9/023;G01B11/24;G01B11/245;G01N21/27;G01N21/45;G02B21/18;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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