发明名称 压力式流量控制装置
摘要 一种在半导体制造装置的气体供给系统中使用的压力式流量控制装置,节流孔口径为可变型,可简单地改变流体的流量控制范围,同时可使压力式流量控制装置小型化和提高气体置换性,并提高防止产生尘埃的性能以及降低制造成本等。具体地说,作为一种由节流孔;设置于节流孔上游侧的控制阀;设置于控制阀与节流孔之间的压力检测器;根据压力检测器的检测压力P<SUB>1</SUB>以Q=KP<SUB>1</SUB>(其中K为常数)计算流体的流量Q并以流量指令信号Qs与上述计算出的流量信号Q二者之差作为控制信号Qy向上述控制阀的驱动部输出的控制装置所构成,并在将节流孔的上游侧压力P<SUB>1</SUB>与下游侧压力P<SUB>2</SUB>之比保持在被控制流体的临界压比以下的状态下,通过上述控制阀的开闭来调整节流孔上游侧的压力P<SUB>1</SUB>,对节流孔下游侧的流体流量Q进行控制的压力式流量控制装置,是以直接接触型金属隔膜阀作为上述节流孔,以阀座与膜片之间的环形间隙作为可变节流孔,并且可通过节流孔驱动装置调整上述间隙的大小。
申请公布号 CN1236449A 申请公布日期 1999.11.24
申请号 CN98801151.4 申请日期 1998.08.13
申请人 株式会社富士金;大见忠弘;东京毅力科创株式会社 发明人 大见忠弘;加贺爪哲;杉山一彦;土肥亮介;宇野富雄;西野功二;福田浩幸;池田信一;山路道雄
分类号 G05D7/06 主分类号 G05D7/06
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 张天安
主权项 1.一种压力式流量控制装置,由节流孔;设于节流孔上游侧的控制阀;设置于控制阀与节流孔之间的压力检测器;根据压力检测器的检测压力P1以Qc=KP1(其中K为常数)计算流体的流量,同时以流量指令信号Qs与上述计算出的流量信号Qc二者之差作为控制信号Qy向上述控制阀的驱动部输出的控制装置所构成,在将节流孔的上游侧压力P1 与下游侧压力P2之比P2/P1保持在控制流体的临界压比以下的状态下,通过上述控制阀的开闭来调整节流孔上游侧的压力P1并对节流孔下游侧的流量Q进行控制,其特征是:上述节流孔为直接接触型金属隔膜阀,以其阀座与膜片之间的环形间隙作为可变节流孔。
地址 日本大阪府