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发明名称 ASHING APPARATUS WITH FIXING MEANS FOR BUBBLER
摘要
申请公布号 KR200160826(Y1) 申请公布日期 1999.11.15
申请号 KR19960011238U 申请日期 1996.05.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 PARK, DONG SOO;OH, JAE YOUNG;PARK, JIN HO
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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